密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />
設(shè)備特點:
★系統(tǒng)可選擇配備低氣壓濺射技術(shù),制備薄膜致密,對基底損傷小
★J濺射腔體采用SUS304不銹鋼材料,腔體內(nèi)表面包括屏蔽板全部鏡面拋光,可以獲得潔凈的工作環(huán)境和良好的真空度
★西門子PLC+觸摸屏手自動控制或電腦+PLC全自動控制可選
設(shè)備參數(shù):
★整機尺寸(L×W×Hmm):1100×800×1900
★腔體尺寸(L×W×Hmm):440×440×450
★基片臺:最高溫度 500℃ 控溫誤差±1℃
★真空極限:(2E﹣05)Pa
★抽速保壓:(8E﹣04)Pa≤20min保壓12小時≤5pa
★托盤均勻性優(yōu)于±3%~±5%
★濺射靶可選取矩形靶(210mm×210mm/300mm×300mm)和圓形靶濺射尺寸